Sputtering é uma das principais técnicas para a preparação de materiais de filmes finos. Ele usa íons produzidos por fonte de íons para acelerar a acumulação no vácuo e forma feixe de íons de alta velocidade, bombardeia a superfície sólida e troca energia cinética entre íons e átomos na superfície sólida, de forma que os átomos na superfície sólida deixam a superfície sólida e se depositam a superfície da base e são bombardeados. O sólido batido é a matéria-prima para preparar filmes finos depositados por pulverização catódica, o que é chamado de alvo de pulverização.
Aplicação
Os alvos de pulverização são usados principalmente em indústrias eletrônicas e de informação, como circuitos integrados, armazenamento de informações, display de cristal líquido, memória laser, dispositivos de controle eletrônico, etc. Eles também podem ser usados no campo de revestimento de vidro, materiais resistentes ao desgaste, alta -temperature resistência à corrosão, produtos decorativos de alta qualidade e outras indústrias.
Classificação
De acordo com a forma, pode ser dividido em alvo quadrado, alvo circular e alvo anormal.
De acordo com a composição, pode ser dividido em alvo de metal, alvo de liga e alvo composto de cerâmica.
De acordo com o campo de aplicação, ele pode ser dividido em alvo microeletrônico, alvo de gravação magnética, alvo de CD-ROM, alvo de metal precioso, alvo de filme fino, alvo de filme condutor, alvo modificado de superfície, alvo de máscara óptica, alvo de camada decorativa , alvo de embalagem e outro alvo.
Os materiais metálicos de pureza alta e até mesmo ultra-alta pureza são a base da produção de materiais alvo de pulverização de alta pureza. Tendo como exemplo os materiais de pulverização catódica para pastilhas semicondutoras, se o teor de impurezas dos materiais alvo de pulverização for muito alto, o filme formado não pode atender ao desempenho elétrico necessário e as partículas são facilmente formadas na pastilha durante o processo de sputtering, resultando em curto-circuito ou perda do circuito. Ruim, afeta seriamente o desempenho do filme.
